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http://hdl.handle.net/10119/12243
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| タイトル: | Low pull-in voltage graphene electromechanical switch fabricated with a polymer sacrificial spacer |
| 著者: | Sun, Jian
Wang, Wenzhen
Muruganathan, Manoharan
Mizuta, Hiroshi |
| キーワード: | Graphene
NEMS |
| 発行日: | 2014-07-21 |
| 出版者: | American Institute of Physics |
| 誌名: | Applied Physics Letters |
| 巻: | 105 |
| 号: | 3 |
| 開始ページ: | 033103-01 |
| 終了ページ: | 033103-04 |
| DOI: | 10.1063/1.4891055 |
| 抄録: | A simple bottom-up procedure using a polymer sacrificial spacer is presented to fabricate graphene electromechanical contact switch devices without using acid etching. Low pull-in voltage of below 2 V is achieved with good consistency on a run-to-run basis, which is compatible with the conventional, complementary metal-oxide-semiconductor circuit requirements. In addition, the formation of carbon-gold bonds at the contact position is proposed as another important mechanism for the irreversible switch—other than the well-known irreversible static friction. |
| Rights: | Copyright 2014 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. The following article appeared in Jian Sun, Wenzhen Wang, Manoharan Muruganathan and Hiroshi Mizuta, Applied Physics Letters, 105(3), 033103 (2014) and may be found at http://dx.doi.org/10.1063/1.4891055 |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/12243 |
| 資料タイプ: | publisher |
| 出現コレクション: | c10-1. 雑誌掲載論文 (Journal Articles)
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