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タイトル: 超高真空処理・ウェット処理したシリコン表面の水および原子状水素との反応性の研究
著者: 宮城, 友昭
著者(別表記): みやぎ, ともあき
キーワード: silicon surface
nc-AFM
wettability
atomic hydrogen
発行日: Jun-2015
記述: Supervisor:富取 正彦
マテリアルサイエンス研究科
博士
タイトル(英語): Studies of the reactivity of water and atomic hydrogen on Si surfaces prepared by the UHV and wet process
著者(英語): Miyagi, Tomoaki
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/12875
学位授与番号: 甲第879号
学位授与年月日: 2015-06-24
学位名: 博士(マテリアルサイエンス)
学位授与機関: 北陸先端科学技術大学院大学
出現コレクション:D-MS. 2015年度(H27) (Jun.2015 - Mar.2016)

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