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タイトル: パルスレーザアニールによりイットリア安定化ジルコニア上に固相結晶化したSi薄膜の膜質に関する研究
著者: Mai, Thi Kieu Lien
著者(別表記): まい, てぃ きょう りあん
キーワード: poly-Si
pulsed laser
YSZ
crystallization-induction layer
low temperature
solid phase crystallization
TFT
発行日: Sep-2015
記述: Supervisor:堀田 將
マテリアルサイエンス研究科
博士
タイトル(英語): Study on Material Properties of Si Thin Films Crystallized on Yttria-Stabilized Zirconia in Solid Phase by Pulsed Laser Annealing
著者(英語): Mai, Thi Kieu Lien
言語: eng
URI: http://hdl.handle.net/10119/12972
学位授与番号: 甲第891号
学位授与年月日: 2015-09-24
学位名: 博士(マテリアルサイエンス)
学位授与機関: 北陸先端科学技術大学院大学
出現コレクション:D-MS. 2015年度(H27) (Jun.2015 - Mar.2016)

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