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D-MS. 博士（マテリアルサイエンス）・博士（材料科学） >
D-MS. 2015年度(H27) >
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http://hdl.handle.net/10119/12972
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| タイトル: | パルスレーザアニールによりイットリア安定化ジルコニア上に固相結晶化したSi薄膜の膜質に関する研究 |
| 著者: | Mai, Thi Kieu Lien |
| 著者（別表記）: | まい, てぃ きょう りあん |
| キーワード: | poly-Si
pulsed laser
YSZ
crystallization-induction layer
low temperature
solid phase crystallization
TFT |
| 発行日: | Sep-2015 |
| 記述: | Supervisor:堀田 將
マテリアルサイエンス研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | Study on Material Properties of Si Thin Films Crystallized on Yttria-Stabilized Zirconia in Solid Phase by Pulsed Laser Annealing |
| 著者（英語）: | Mai, Thi Kieu Lien |
| 言語: | eng |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/12972 |
| 学位授与番号: | 甲第891号 |
| 学位授与年月日: | 2015-09-24 |
| 学位名: | 博士（マテリアルサイエンス） |
| 学位授与機関: | 北陸先端科学技術大学院大学 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2015年度(H27) (Jun.2015 - Mar.2016)
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このアイテムのファイル:
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記述 |
サイズ | 形式 |
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| abstract.pdf | 英文要旨 | 1035Kb | Adobe PDF | 見る/開く | | paper.pdf | 本文 | 13743Kb | Adobe PDF | 見る/開く | | summary.pdf | 内容の要旨及び論文審査の結果の要旨 | 1016Kb | Adobe PDF | 見る/開く |
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