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D-MS. 博士(マテリアルサイエンス)・博士(材料科学) >
D-MS. 2015年度(H27) >
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http://hdl.handle.net/10119/13488
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タイトル: | ハロゲン化シランの塩基付加体を経由したオリゴラダーフェニルシルセスキオキサンの合成とフォトリソグラフィーへの応用に関する研究 |
著者: | 田代, 裕治 |
著者(別表記): | たしろ, ゆうじ |
キーワード: | silsesquioxane ladder structure amine-ligand pyridine TMEDA PMDETA photosensitive |
発行日: | Sep-2015 |
記述: | Supervisor:海老谷 幸喜 マテリアルサイエンス研究科 博士 |
タイトル(英語): | A study on synthesis of oligo-ladder phenylsilsesquioxane via halosilane-amine adducts and their photosensitive characters |
著者(英語): | Tashiro, Yuji |
言語: | eng |
URI: | http://hdl.handle.net/10119/13488 |
学位授与番号: | 甲第894号 |
学位授与年月日: | 2015-09-24 |
学位名: | 博士(マテリアルサイエンス) |
学位授与機関: | 北陸先端科学技術大学院大学 |
出現コレクション: | D-MS. 2015年度(H27) (Jun.2015 - Mar.2016)
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記述 |
サイズ | 形式 |
abstract.pdf | 英文要旨 | 88Kb | Adobe PDF | 見る/開く | paper.pdf | 本文 | 2434Kb | Adobe PDF | 見る/開く | summary.pdf | 内容の要旨及び論文審査の結果の要旨 | 246Kb | Adobe PDF | 見る/開く |
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