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タイトル: ハロゲン化シランの塩基付加体を経由したオリゴラダーフェニルシルセスキオキサンの合成とフォトリソグラフィーへの応用に関する研究
著者: 田代, 裕治
著者(別表記): たしろ, ゆうじ
キーワード: silsesquioxane
ladder structure
amine-ligand
pyridine
TMEDA
PMDETA
photosensitive
発行日: Sep-2015
記述: Supervisor:海老谷 幸喜
マテリアルサイエンス研究科
博士
タイトル(英語): A study on synthesis of oligo-ladder phenylsilsesquioxane via halosilane-amine adducts and their photosensitive characters
著者(英語): Tashiro, Yuji
言語: eng
URI: http://hdl.handle.net/10119/13488
学位授与番号: 甲第894号
学位授与年月日: 2015-09-24
学位名: 博士(マテリアルサイエンス)
学位授与機関: 北陸先端科学技術大学院大学
出現コレクション:D-MS. 2015年度(H27) (Jun.2015 - Mar.2016)

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