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タイトル: AlGaN/GaNデバイスにおける絶縁体-半導体界面電荷と界面結合状態
著者: 長谷川, 貴大
著者(別表記): はせがわ, たかひろ
キーワード: 界面固定電荷
X線光電子分光
interface fixed charge
XPS
AlGaN/GaN
Al2O3
AlTiO
発行日: Mar-2017
記述: Supervisor: 鈴木 寿一
マテリアルサイエンス研究科
修士
タイトル(英語): Insulator/semiconductor interface fixed charge and bonding state in AlGaN/GaN devices
著者(英語): Hasegawa, Takahiro
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/14196
出現コレクション:M-MS. 2016年度(H28) (Jun.2016 - Mar.2017)

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