JAIST Repository >
JAIST >
Theses >
Doctor of Philosophy(Materials Science) >
H28) (Jun.2016 - Mar.2017 >

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10119/14253

Title: Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用
Authors: 宇井, 利昌
Authors(alternative): うい, としまさ
Keywords: AlTiO
heterogeneous integration
InAs/high-k/low-k
modulation doping
FET
Issue Date: Mar-2017
Description: Supervisor:鈴木 寿一
マテリアルサイエンス研究科
博士
Authors(English): Ui, Toshimasa
Language: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/14253
Academic Degrees and number: 甲第983号
Degree-granting date: 2017-03-24
Degree name: 博士(マテリアルサイエンス)
Degree-granting institutions: 北陸先端科学技術大学院大学
Appears in Collections:D-MS. 2016年度(H28) (Jun.2016 - Mar.2017)

Files in This Item:

File Description SizeFormat
abstract.pdf英文要旨22KbAdobe PDFView/Open
paper.pdf本文19027KbAdobe PDFView/Open
summary.pdf内容の要旨及び論文審査の結果の要旨1146KbAdobe PDFView/Open

All items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved.

 


Contact : Library Information Section, Japan Advanced Institute of Science and Technology