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D-MS. 博士（マテリアルサイエンス）・博士（材料科学） >
D-MS. 2016年度(H28) >
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http://hdl.handle.net/10119/14253
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| タイトル: | Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用 |
| 著者: | 宇井, 利昌 |
| 著者（別表記）: | うい, としまさ |
| キーワード: | AlTiO
heterogeneous integration
InAs/high-k/low-k
modulation doping
FET |
| 発行日: | Mar-2017 |
| 記述: | Supervisor:鈴木 寿一
マテリアルサイエンス研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | Al2O3およびAlTiOの化合物半導体異種材料融合集積技術への応用 |
| 著者（英語）: | Ui, Toshimasa |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/14253 |
| 学位授与番号: | 甲第983号 |
| 学位授与年月日: | 2017-03-24 |
| 学位名: | 博士（マテリアルサイエンス） |
| 学位授与機関: | 北陸先端科学技術大学院大学 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2016年度(H28) (Jun.2016 - Mar.2017)
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このアイテムのファイル:
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記述 |
サイズ | 形式 |
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| abstract.pdf | 英文要旨 | 22Kb | Adobe PDF | 見る/開く | | paper.pdf | 本文 | 19027Kb | Adobe PDF | 見る/開く | | summary.pdf | 内容の要旨及び論文審査の結果の要旨 | 1146Kb | Adobe PDF | 見る/開く |
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