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M-MS. 2020年度(R02) >
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http://hdl.handle.net/10119/17223
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タイトル: | AlNゲート絶縁膜とゲートリセスを用いたAlN/AlGaN/GaN MISデバイスの閾値電圧制御 |
著者: | 新村, 純平 |
著者(別表記): | しむら, じゅんぺい |
キーワード: | 閾値電圧 ゲートリセス 界面固定電荷 Threshold voltage Gate recess Interface fixed charge |
発行日: | Mar-2021 |
記述: | Supervisor: 鈴木 寿一 先端科学技術研究科 修士(マテリアルサイエンス) |
タイトル(英語): | Threshold-voltage control of AlN/AlGaN/GaN MIS devices by using AlN gate insulators and gate recess |
著者(英語): | Shimura, Jumpei |
言語: | jpn |
URI: | http://hdl.handle.net/10119/17223 |
出現コレクション: | M-MS. 2020年度(R02) (Jun.2020 - Mar.2021)
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