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タイトル: AlNゲート絶縁膜とゲートリセスを用いたAlN/AlGaN/GaN MISデバイスの閾値電圧制御
著者: 新村, 純平
著者(別表記): しむら, じゅんぺい
キーワード: 閾値電圧
ゲートリセス
界面固定電荷
Threshold voltage
Gate recess
Interface fixed charge
発行日: Mar-2021
記述: Supervisor: 鈴木 寿一
先端科学技術研究科
修士(マテリアルサイエンス)
タイトル(英語): Threshold-voltage control of AlN/AlGaN/GaN MIS devices by using AlN gate insulators and gate recess
著者(英語): Shimura, Jumpei
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/17223
出現コレクション:M-MS. 2020年度(R02) (Jun.2020 - Mar.2021)

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