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M-MS. 2021年度(R03) >
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http://hdl.handle.net/10119/17670
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| タイトル: | 酸素吸収層を用いたHf-Zr-O膜の結晶相制御と強誘電特性の改善 |
| 著者: | 齋藤, 瑞 |
| 著者（別表記）: | さいとう, みずき |
| キーワード: | 溶液プロセス
Chemical Solution Deposition
強誘電体
Ferroelectricity
薄膜
Thin film |
| 発行日: | Mar-2022 |
| 記述: | Supervisor: 徳光 永輔
先端科学技術研究科
修士(マテリアルサイエンス) |
| タイトル（英語）: | Crystal Phase Control and Improvement of Ferroelectric Properties in Hf-Zr-O Films with Oxygen Scavenging Layer |
| 著者（英語）: | Saito, Mizuki |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/17670 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2021年度(R03) (Jun.2021 - Mar.2022)
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