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M-MS. 2021年度(R03) >
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http://hdl.handle.net/10119/17675
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| タイトル: | 原子層堆積AlTiO/(リセス)AlGaN界面における固定電荷の生成機構 |
| 著者: | 下田, 剛也 |
| 著者（別表記）: | しもだ, たけや |
| キーワード: | AlTiO |
| 発行日: | Mar-2022 |
| 記述: | Supervisor: 鈴木 寿一
先端科学技術研究科
修士(マテリアルサイエンス) |
| タイトル（英語）: | Atomic layer deposition AlTiO/(recess)AlGaN interface fixed charge generation mechanism |
| 著者（英語）: | Shimoda, Takeya |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/17675 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2021年度(R03) (Jun.2021 - Mar.2022)
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