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タイトル: スパッタ法により形成したHf-Zr-O薄膜の強誘電性の安定性とデバイス応用に関する研究
著者: 原, 佑樹
著者(別表記): はら, ゆうき
キーワード: 強誘電体
ferroelectric
スパッタ法
sputtering
発行日: Mar-2022
記述: Supervisor: 徳光 永輔
先端科学技術研究科
修士(マテリアルサイエンス)
タイトル(英語): Investigation of ferroelectric stability and device application of Hf-Zr-O thin film formed by sputtering
著者(英語): Hara, Yuki
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/17686
出現コレクション:M-MS. 2021年度(R03) (Jun.2021 - Mar.2022)

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