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タイトル: 二軸傾斜機能を備えたTEMホルダーの開発と薄膜化されたシリコンのナノインデンテーション観察
著者: 陳, 桐民
著者(別表記): ちん, とうみん
キーワード: in situ TEM
Si- thin film
Nanoindentation
high-pressure phases
defects
発行日: Sep-2022
記述: Supervisor: 大島 義文
先端科学技術研究科
博士
タイトル(英語): Development of double tilt TEM holder and observation of nanoindentation of thin-filmed silicon
著者(英語): CHEN, TONGMIN
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/18147
学位授与番号: 甲第1348号
学位授与年月日: 2022-09-22
学位名: 博士(マテリアルサイエンス)
学位授与機関: 北陸先端科学技術大学院大学
出現コレクション:D-MS. 2022年度(R04) (Jun.2022 - Mar.2023)

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