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M-MS. 修士（マテリアルサイエンス）・修士（材料科学） >
M-MS. 2025年度(R07) >
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https://hdl.handle.net/10119/20460
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| タイトル: | AlGaN/GaNヘテロ構造に対するドライエッチングとデジタルウェットエッチングの組み合わせによる完全リセスオーミック電極の作製と評価 |
| 著者: | CAO, HONGZHI |
| 著者（別表記）: | そう, こうし |
| 発行日: | Mar-2026 |
| 記述: | Supervisor:鈴木 寿一
先端科学技術研究科
修士(マテリアルサイエンス) |
| タイトル（英語）: | Ohmic contacts to recessed AlGaN/GaN heterostructures obtained by combination of dry and digital-wet etching |
| 著者（英語）: | CAO, HONGZHI |
| 言語: | eng |
| URI: | https://hdl.handle.net/10119/20460 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2025年度(R07) (Jun.2025 - Mar.2026)
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