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i. 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST) >
i20. 学位論文 >
M-MS. 修士（マテリアルサイエンス）・修士（材料科学） >
M-MS. 1996年度(H08) >

このアイテムの引用には次の識別子を使用してください: http://hdl.handle.net/10119/2388

タイトル: レジストプロセスによるSTMリソグラフィーを用いたGaAs上の微細加工
著者: 弘中, 勝也
著者（別表記）: ヒロナカ, カツヤ
キーワード: リソグラフィー, STM, AFM, PMMA, GaAs
発行日: Mar-1997
記述: Supervisor:山田 省二
材料科学研究科
修士
タイトル（英語）: レジストプロセスによるSTMリソグラフィーを用いたGaAs上の微細加工
著者（英語）: Hironaka, Katsuya
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/2388
出現コレクション:M-MS. 1996年度(H08) (Jun.1996 - Mar.1997)

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