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M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2446
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| タイトル: | ECRスパッタ法によるSrTiO3薄膜のエピタキシャル成長と評価 |
| 著者: | 目黒, 伸也 |
| 著者（別表記）: | めぐろ, しんや |
| キーワード: | ECRスパッタ法,SrTiO3,エピタキシャル膜
ECR sputtering,SrTiO3,epitaxal |
| 発行日: | Mar-1998 |
| 記述: |
Supervisor:五味 学
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Groth and evaluation of SrTiO3 thin films deposited by sputtering |
| 著者（英語）: | Meguro, Shinya |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2446 |
| 出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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記述 |
サイズ | 形式 |
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