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M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2453
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| タイトル: | ホットフィラメントCVD法による炭素系薄膜の作製とその表面観察 |
| 著者: | 坂入, 真子 |
| 著者（別表記）: | さかいり, まさこ |
| キーワード: | ホットフィラメントCVD, 炭素系薄膜, AES, XRD
hot-filament CVD, carbon film, AES, XRD |
| 発行日: | Mar-1998 |
| 記述: |
Supervisor:富取 正彦
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Formation of carbon films by hot-filament CVD andobservation of its surface |
| 著者（英語）: | Sakairi, Masako |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2453 |
| 出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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記述 |
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