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M-MS. 1997年度(H09) >

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タイトル: 電界印加堆積法によるSiO2基板上への結晶化Si薄膜の形成
著者: 稲垣, 大介
著者(別表記): いながき, だいすけ
キーワード: Si,超高真空,電界印加堆積,電界効果,RHEED
Si,super high vacuum,electric field effect,RHEED
発行日: Mar-1998
記述: 
Supervisor:堀田 将
材料科学研究科
修士
タイトル(英語): Fabrication of Crystallized Si Films on SiO2 Substrate by AppliedElectric Field during the Deposition
著者(英語): Inagaki, Daisuke
URI: http://hdl.handle.net/10119/2506
出現コレクション:M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)

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