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M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2506
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タイトル: | 電界印加堆積法によるSiO2基板上への結晶化Si薄膜の形成 |
著者: | 稲垣, 大介 |
著者(別表記): | いながき, だいすけ |
キーワード: | Si,超高真空,電界印加堆積,電界効果,RHEED Si,super high vacuum,electric field effect,RHEED |
発行日: | Mar-1998 |
記述: | Supervisor:堀田 将 材料科学研究科 修士 |
タイトル(英語): | Fabrication of Crystallized Si Films on SiO2 Substrate by AppliedElectric Field during the Deposition |
著者(英語): | Inagaki, Daisuke |
URI: | http://hdl.handle.net/10119/2506 |
出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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