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M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2512
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タイトル: | チャネリングイオンを用いた非晶質表面への周期的構造の形成に関する研究 |
著者: | 甲, 雄介 |
著者(別表記): | きのえ, ゆうすけ |
キーワード: | チャネリング、SOI構造、イオン照射、RBS channeling, SOI structure, ion irradiation, RBS |
発行日: | Mar-1998 |
記述: | Supervisor:堀田 將 材料科学研究科 修士 |
タイトル(英語): | Fabrication of Periodic Structure on an Amorphous Surfaceby Using Channeling Ions |
著者(英語): | Kinoe, Yusuke |
URI: | http://hdl.handle.net/10119/2512 |
出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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