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M-MS. 修士（マテリアルサイエンス）・修士（材料科学） >
M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2520
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| タイトル: | フォトリソグラフィーを用いたナノメータ微細加工法に関する研究 |
| 著者: | 永井, 竜太 |
| 著者（別表記）: | ながい, りゅうた |
| キーワード: | ナノ・テクノロジー,チタン,フォトリソグラフィー,陽極酸化法,硫酸/過酸化水素溶液
nano-technology,Ti,photo-litography,anodic oxidati |
| 発行日: | Mar-1998 |
| 記述: |
Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Study of nano-technology utilizing conventional photo-lithography |
| 著者（英語）: | Nagai, Ryuta |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2520 |
| 出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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