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M-MS. 2000年度(H12) >
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http://hdl.handle.net/10119/2762
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| タイトル: | 触媒ケミカル・スパッタリング法による大粒径poly-Si膜堆積 |
| 著者: | 亀崎, 浩司 |
| 著者（別表記）: | かめさき, こうじ |
| キーワード: | 触媒ケミカル・スパッタリング法, 化学輸送, 多結晶シリコン, 大粒径
catalytic chemical sputtering method, chemical tra |
| 発行日: | Mar-2001 |
| 記述: |
Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Large Grain Size Poly-Si Film Prepared by Novel Proposed Catalytic Chemical Sputtering Method |
| 著者（英語）: | Kamesaki, Koji |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2762 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2000年度(H12) (Jun.2000 - Mar.2001)
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記述 |
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