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M-MS. 2000年度(H12) >
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http://hdl.handle.net/10119/2764
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| タイトル: | 半導体微細加工技術によるSiおよびGaAsカンチレバー作製の研究 |
| 著者: | 渋谷, 克久 |
| 著者（別表記）: | しぶや, かつひさ |
| キーワード: | Si・GaAsカンチレバー, 探針, 異方性・等方性エッチング, スプレーエッチング
Si.GaAs cantilever, probe, isotropic.anisotropic e |
| 発行日: | Mar-2001 |
| 記述: |
Supervisor:山田 省二
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Fabrication of Cantilever with Si and GaAs by Micromechanical Technology of Semiconductor |
| 著者（英語）: | Shibuya, Katuhisa |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2764 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2000年度(H12) (Jun.2000 - Mar.2001)
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記述 |
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