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M-MS. 2000年度(H12) >
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http://hdl.handle.net/10119/2765
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| タイトル: | 触媒CVD法によるシリコン成膜過程における気相反応の解明 |
| 著者: | 北添, 牧子 |
| 著者（別表記）: | きたぞえ, まきこ |
| キーワード: | レーザー誘起蛍光法、質量分析法、触媒CVD法、アモルファスシリコン薄膜
laser induced fluorescence (LIF) technique, mass s |
| 発行日: | Mar-2001 |
| 記述: |
Supervisor:梅本 宏信
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Elucidation of gas phase reactions in catalytic-CVD processing for silicon thin films |
| 著者（英語）: | Kitazoe, Makiko |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2765 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2000年度(H12) (Jun.2000 - Mar.2001)
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記述 |
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