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M-MS. 2001年度(H13) >
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http://hdl.handle.net/10119/2909
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| タイトル: | 触媒体上でのNF3分解反応を用いたエッチング・クリーニングの研究 |
| 著者: | 西村, 悟 |
| 著者（別表記）: | にしむら, さとる |
| キーワード: | NF3, 接触分解, チャンバークリーニング, Cat-CVD装置
NF3, catalytic cracking reaction, chamber cleaning |
| 発行日: | Mar-2002 |
| 記述: |
Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Study on etching and cleaning by using catalytic cracking reaction of NF3 |
| 著者（英語）: | Nishimura, Satoru |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2909 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2001年度(H13) (Jun.2001 - Mar.2002)
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記述 |
サイズ | 形式 |
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| 1779abstract.pdf | | 41Kb | Adobe PDF | 見る/開く |
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