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タイトル: YSZ((ZrO2)1-x(Y2O3)x)薄膜上へのSi薄膜の低温結晶成長
著者: 坪田, 康寿
著者(別表記): つぼた, やすとし
キーワード: YSZ薄膜, 低温poly-Si薄膜, RHEED
YSZ film, low-temperature poly-Si film, RHEED
発行日: Mar-2005
記述: 
Supervisor:堀田 將
材料科学研究科
修士
タイトル(英語): Low temperature crystallization on Si film on YSZ((ZrO2)1-x(Y2O3)x) film
著者(英語): Tsubota, Yasutoshi
URI: http://hdl.handle.net/10119/3220
出現コレクション:M-MS. 平成16年度 (Jun.2004 - Mar.2005)

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