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M-MS. 2004年度(H16) >
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http://hdl.handle.net/10119/3220
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| タイトル: | YSZ((ZrO2)1-x(Y2O3)x)薄膜上へのSi薄膜の低温結晶成長 |
| 著者: | 坪田, 康寿 |
| 著者（別表記）: | つぼた, やすとし |
| キーワード: | YSZ薄膜, 低温poly-Si薄膜, RHEED
YSZ film, low-temperature poly-Si film, RHEED |
| 発行日: | Mar-2005 |
| 記述: |
Supervisor:堀田 將
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Low temperature crystallization on Si film on YSZ((ZrO2)1-x(Y2O3)x) film |
| 著者（英語）: | Tsubota, Yasutoshi |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/3220 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2004年度(H16) (Jun.2004 - Mar.2005)
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