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タイトル: 触媒化学気相堆積法の酸化性気体への応用拡大
著者: 瀬戸口, 将太
著者(別表記): せとぐち, しょうた
キーワード: 触媒化学気相堆積,(Cat-CVD)法,  触媒体酸化, 酸化性ガス, 還元性ガス, 四重極質量分析法
catalytic chemical vapor deposition , oxidizing species, H2
発行日: Mar-2007
記述: Supervisor:梅本 宏信
材料科学研究科
修士
タイトル(英語): Extension of catalytic chemical vapor deposition technique to oxidizing species
著者(英語): Setoguchi, Shota
言語: eng
URI: http://hdl.handle.net/10119/3670
出現コレクション:M-MS. 2006年度(H18) (Jun.2006 - Mar.2007)

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