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D-MS. 2007年度(H19) >
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http://hdl.handle.net/10119/4192
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| タイトル: | Cat-CVD法に用いる触媒体の変性とその抑止法に関する基礎研究 |
| 著者: | 本田, 和広 |
| 著者（別表記）: | ほんだ, かずひろ |
| キーワード: | silicide
Cat-CVD |
| 発行日: | Mar-2008 |
| 記述: | Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | Study on Silicidation Process of Tungsten Catalyzer in Catalytic Chemical Vapour Deposition |
| 著者（英語）: | Honda, Kazuhiro |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/4192 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2007年度(H19) (Jun.2007 - Mar.2008)
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