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著者:  "わたなべ, みきお"

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発行日タイトル 著者
Mar-1997 反応性スパッタ法を用いたSi基板上へのY組成制御YSZ薄膜のヘテロエピタキシャル成長渡部, 幹雄; わたなべ, みきお

 


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