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タイトル: Deposition of platinum patterns by a liquid process
著者: Shen, Zhongrong
Li, Jinwang
Matsuki, Yasuo
Shimoda, Tatsuya
キーワード: Selected deposition
Platinum
Liquid process
PZT
発行日: 2011-05-31
出版者: Royal Society of Chemistry
誌名: Chemical Communications
巻: 47
開始ページ: 9992
終了ページ: 9994
DOI: 10.1039/C1CC12138C
抄録: Compared with traditional chemical vapor deposition technique under high vacuum, we introduce a new generation deposition method in liquid to prepare Pt pattern on substrate near 100 ℃ by seed growth process.
Rights: Copyright (C) 2011 Royal Society of Chemistry. Zhongrong Shen, Jinwang Li, Yasuo Matsuki, Tatsuya Shimoda, Chemical Communications, 47, 2011, 9992-9994. http://dx.doi.org/10.1039/C1CC12138C - Reproduced by permission of The Royal Society of Chemistry
URI: http://hdl.handle.net/10119/10664
資料タイプ: author
出現コレクション:z8-10-1. 雑誌掲載論文 (Journal Articles)

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