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タイトル: 複合顕微鏡による高温下でのナノ接点・接合形成のその場観察・解析
その他のタイトル: In-situ observation and analysis of nano contacts and junctions formation at high temperatures by a combined microscope of SEM and SPM
著者: 富取, 正彦
著者(別表記): Tomitori, Masahiko
キーワード: ナノコンタクト
表面・界面物性
走査プローブ顕微鏡
走査電子顕微鏡
物性実験
発行日: 3-Jun-2013
抄録: 本研究では、2物体の間隔を制御できる走査型プローブ顕微鏡(SPM)を利用し、2つの微小物体を高温状態で接近・接触・溶融合・分離させ、その過程で構築されるナノ接点・接合を観察・解析することを目的とした。超高分解能電界放射走査型電子顕微鏡(SEM)と組み合わせたペンシル型SPM を用い、温度1000℃以上の加熱、接近・接触・溶融合を実現した。この成果は、ナノデバイスの電気的ナノ接点の構築に貢献する。 : The purpose of this study is to observe and analyze nano contacts and junctions, which are fabricated by bringing two small pieces of materials in proximity or in touch at high temperatures using scanning probe microscopy (SPM) techniques; the techniques can control the separation between them on a nano scale. We successfully demonstrated the approaching, contacting and welding between the two pieces, observed by an ultra-high resolution field-emission scanning electron microscope combined with a home-made pencil-type SPM.
記述: 研究種目:挑戦的萌芽研究
研究期間:2010~2012
課題番号:22656012
研究者番号:10188790
研究分野: 表面科学、ナノプローブテクノロジー
科研費の分科・細目: 応用物理学・工学基礎、薄膜・表面界面物性
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/11382
出現コレクション:平成24年度 (FY 2012)

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