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タイトル: エピタキシャル YSZ 膜を用いた Si 基板上への C-軸配向 PZT 膜の堆積
著者: 川田, 剛嗣
発行日: Mar-1996
記述: 材料科学研究科
修士
タイトル(英語): エピタキシャル YSZ 膜を用いた Si 基板上への C-軸配向 PZT 膜の堆積
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/2237
出現コレクション:M-MS. 1995年度(H07) (Jun.1995 - Mar.1996)

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