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M-MS. 2006年度(H18) >
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http://hdl.handle.net/10119/3671
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| タイトル: | Cat-CVD法による有機シリコン化合物を用いた大面積ガスバリア膜の作製 |
| 著者: | 小栁津, 拓哉 |
| 著者（別表記）: | おやいづ, たくや |
| キーワード: | Cat-CVD, 窒化シリコン,酸窒化シリコン,ガスバリア膜,有機シリコン化合物
Cat-CVD,SiN,SiON,Gas barrier film,Organic silicon compound |
| 発行日: | Mar-2007 |
| 記述: | Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Formation of Large-Area Gas Barrier Films by Cat-CVD Method Using Organic Silicon Compounds |
| 著者（英語）: | Oyaidu, Takuya |
| 言語: | eng |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/3671 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2006年度(H18) (Jun.2006 - Mar.2007)
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