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D-MS. 博士（マテリアルサイエンス）・博士（材料科学） >
D-MS. 2009年度(H21) >
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http://hdl.handle.net/10119/8873
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| タイトル: | 化合物半導体多層構造を用いた歪み駆動自己変形プロセスの研究 |
| 著者: | 岩瀬, 比宇麻 |
| 著者（別表記）: | いわせ, ひうま |
| キーワード: | Compound semiconductor
Epitaxitial growth
micromachining
Cantilever
MEMS
AFM |
| 発行日: | Mar-2010 |
| 記述: | Supervisor:山田省二
マテリアルサイエンス研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | Study of strain-driven self-bending process using compound semiconductor multi-layer structures |
| 著者（英語）: | Iwase, Hiuma |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/8873 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2009年度(H21) (Jun.2009 - Mar.2010)
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