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著者:  "Ohara, Kentaro"

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発行日タイトル 著者
1-Feb-2002 Direct detection of H atoms in the catalytic chemical vapor deposition of the SiH_4/H_2 systemUmemoto, Hironobu; Ohara, Kentaro; Morita, Daisuke; Nozaki, Yoshitaka; Masuda, Atsushi; Matsumura, Hideki

 
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