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著者:  "Ohta, Tatsunori"

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発行日タイトル 著者
16-Sep-2014 Cat-doping: Novel method for phosphorus and boron shallow doping in crystalline silicon at 80 °CMatsumura, Hideki; Hayakawa, Taro; Ohta, Tatsunori; Nakashima, Yuki; Miyamoto, Motoharu; Trinh, Cham Thi; Koyama, Koichi; Ohdaira, Keisuke

 
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