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著者:  "Umemoto, Hironobu"

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発行日タイトル 著者
1-Nov-2000 Identification of Si and SiH in catalytic chemical vapor deposition of SiH_4 by laser induced fluorescence spectroscopyNozaki, Yoshitaka; Kongo, Koichi; Miyazaki, Toshihiko; Kitazoe, Makiko; Horii, Katsuhiko; Umemoto, Hironobu; Masuda, Atsushi; Matsumura, Hideki
1-Feb-2002 Direct detection of H atoms in the catalytic chemical vapor deposition of the SiH_4/H_2 systemUmemoto, Hironobu; Ohara, Kentaro; Morita, Daisuke; Nozaki, Yoshitaka; Masuda, Atsushi; Matsumura, Hideki
22-Feb-2006 Rotational and vibrational state distribution of H_2 activated on a heated tungsten filamentUmemoto, Hironobu; Ansari, S. G.; Matsumura, Hideki

 


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